Ультразвуковые увлажнители воздуха являются наиболее современными из всех в увлажнителях воздуха этого типа используется тонкая пьезо-мембрана, которая осуществляет выброс мелких капель воды в воздух. Поскольку при этом происходит насильственное увлажнение воздуха, влажность в помещении может быть доведена до 70-80% и выше. В лучших ультразвуковых увлажнителях воздуха используется встроенный гигростат, отключающий прибор при достижении установленного уровня влажности. Одной из компаний по производству ультразвуковых увлажнителей воздуха является компания Termica.